[发明专利]一种基于纳米束波导滤波器与微腔级联结构的一维光子晶体集成传感器在审

专利信息
申请号: 201610274148.3 申请日: 2016-04-28
公开(公告)号: CN105954234A 公开(公告)日: 2016-09-21
发明(设计)人: 杨大全;王波;纪越峰 申请(专利权)人: 北京邮电大学
主分类号: G01N21/43 分类号: G01N21/43
代理公司: 北京永创新实专利事务所 11121 代理人: 赵文颖
地址: 100876 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基于纳米束波导滤波器与微腔级联结构的一维光子晶体集成传感器,包括一维光子晶体纳米束带隙滤波器和纳米束微腔传感器,一维光子晶体纳米束带隙滤波器和纳米束微腔传感器串联。本发明结构设计简单紧凑,尺寸大约在~0.7μm×10μm,实际制作简单,然而同类高性能光子晶体传感器结构模型都是基于结构复杂的光子晶体微腔结构,传感器结构的优化设计相对比较复杂,而且对于微纳加工制备技术精度要求非常高,实际制作困难。
搜索关键词: 一种 基于 纳米 波导 滤波器 级联 结构 光子 晶体 集成 传感器
【主权项】:
一种基于纳米束波导滤波器与微腔级联结构的一维光子晶体集成传感器,包括一维光子晶体纳米束带隙滤波器和纳米束微腔传感器,一维光子晶体纳米束带隙滤波器和纳米束微腔传感器串联。
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