[发明专利]测定装置

摘要

一种测定装置，能够容易地对测定对象物的背面的形状进行测定。测定装置具备：载置台部(6)，载置平板状的测定对象物；显微镜(8)，具有物镜(8b)及拍摄部(8c)；及角隅棱镜(12)，配置于所述载置台部的与所述测定对象物的背面侧的测定位置相对应的位置，所述拍摄部经由所述角隅棱镜以及所述物镜拍摄所述测定对象物的背面侧的测定位置的像。

主权项

1.一种测定装置，其特征在于，具备：载置台部，载置平板状的测定对象物；显微镜，具有物镜以及拍摄部；及角隅棱镜，配置于所述载置台部的与所述测定对象物的背面侧的测定位置相对应的位置，所述拍摄部经由所述角隅棱镜以及所述物镜拍摄所述测定对象物的背面侧的测定位置的像，在所述载置台部的与所述测定对象物的背面侧的多个所述测定位置相对应的各个位置形成有配置所述角隅棱镜的配置部，所述角隅棱镜配置于各个所述配置部，所述测定装置还具备使所述显微镜沿所述测定对象物的边缘部移动的显微镜移动部，所述拍摄部经由所述角隅棱镜以及所述物镜依次拍摄所述测定对象物的背面侧的多个测定位置的像。