[发明专利]一种基于罗茨泵故障模式的真空系统性能退化测量方法

摘要

本发明实施例提供了一种基于罗茨泵故障模式的真空系统性能退化测量方法，属于真空系统领域。所述方法包括根据真空系统中罗茨泵工作模型以及所获取的罗茨泵的第一转子的轴承的第一磨损高度、第一转子的第二磨损高度以及第一转子的第三磨损高度确立真空容器内的压强与罗茨泵的工作时间的关系。根据实时采集到的真空容器内的真空度以及所确立的真空容器内压强与罗茨泵的工作时间的关系，测得真空系统的性能退化程度。本发明能够在线获取真空系统的性能退化程度，相比于现有的测量真空系统性能退化的方法，更具有直观性，有效地方便了用户及时获知真空系统的性能退化程度并对罗茨泵进行检修。

主权项

一种基于罗茨泵故障模式的真空系统性能退化测量方法，其特征在于，真空系统包括真空容器和罗茨泵，所述罗茨泵包括第一转子和第二转子，所述罗茨泵的进气口与所述真空容器连通，所述方法包括：获取所述罗茨泵的第一转子的轴承的第一磨损高度；获取由所述罗茨泵的第一转子顶部与所述罗茨泵的壳体内壁之间的磨损引起的所述第一转子的第二磨损高度；获取由所述第一转子和所述第二转子之间的磨损引起的所述第一转子的第三磨损高度；根据所述第一磨损高度、所述第二磨损高度、所述第三磨损高度以及真空系统中罗茨泵工作模型确立所述真空容器内的压强与所述罗茨泵的工作时间的关系；获取当前时刻所述真空容器内的真空度，根据所述真空度以及所述真空容器内的压强与所述罗茨泵的工作时间的关系，测得所述真空系统的性能退化程度。