[发明专利]温湿度传感器及其制备方法、温湿度测量系统

摘要

本发明涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器，包括：衬底；以及并列设置于所述衬底上的第一测量单元和第二测量单元；所述第一测量单元包括设置在所述衬底表面的第一电极和覆盖所述第一电极的第一温湿度感应层；所述第二测量单元包括设置于所述衬底表面的第二电极、覆盖所述第二电极的第二温湿度感应层和覆盖所述第二温湿度感应层的阻水膜；其中，所述第一温湿度感应层和所述第二温湿度感应层均为含氧化石墨烯的温湿度感应层。上述温湿度传感器能够实现温度和湿度的同时测量。本发明还涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器的制备方法和温湿度测量系统。

主权项

1.一种温湿度测量系统，其特征在于，包括：基于氧化石墨烯的温湿度传感器，所述温湿度传感器包括衬底以及并列设置于所述衬底上的第一测量单元和第二测量单元，所述第一测量单元包括设置在所述衬底表面的第一电极和覆盖所述第一电极的第一温湿度感应层，所述第二测量单元包括设置于所述衬底表面的第二电极、覆盖所述第二电极的第二温湿度感应层和覆盖所述第二温湿度感应层的阻水膜，所述第一温湿度感应层和所述第二温湿度感应层均为含氧化石墨烯的温湿度感应层，所述阻水膜为高分子水膜；阻抗测量装置，分别与所述第一电极和所述第二电极连接，以测量所述第一测量单元、所述第二测量单元的阻抗图；以及处理器，与所述阻抗测量装置连接，用于根据所述第一测量单元和所述第二测量单元的阻抗图求取待测温度和湿度；所述处理器还用于存储所述第一测量单元和所述第二测量单元的特征方程；所述特征方程用于表征第一测量单元或者所述第二测量单元的电荷转移电阻与温度和湿度的函数关系；所述处理器还用于根据所述第一测量单元、所述第二测量单元的阻抗图通过预设拟合电路获得所述第一测量单元、所述第二测量单元的电荷转移电阻；所述处理器还用于根据获得的电荷转移电阻以及特征方程求取待测温度和湿度。