[发明专利]角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201610158342.5 | 申请日: | 2016-03-18 |
公开(公告)号: | CN106017448B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 中川啓史 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够减少无用振动且减少检测精度的下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有:基部(21);一对驱动臂(23、24),其与基部(21)连接;检测部(22),其对在以驱动振动模式而使驱动臂(23、24)弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测,驱动臂(23、24)在基部(21)的面内方向上以同相进行振动,且在基部(21)的厚度方向上以反相进行振动。 | ||
搜索关键词: | 角速度 检测 元件 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种角速度检测元件,其特征在于,具有:基部;与所述基部连接的至少两个驱动臂;检测部,其对在以驱动振动模式而使所述两个驱动臂弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测;所述两个驱动臂在所述驱动振动模式下,在所述基部的面内方向上以同相进行弯曲振动,且在所述基部的厚度方向上以反相进行弯曲振动。
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