[发明专利]多晶硅铸锭炉热循环系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭炉热循环系统，加热系统对应坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器，坩埚的中部设置有对应中心平板加热器的中心平板加热槽，中心平板加热器设置在中心平板加热槽内；散热平台沿厚度方向在下表面设置一圈横向隔热槽，散热平台沿宽度方向在四周端面设置一圈纵向隔热槽；横向隔热槽与纵向隔热槽内均填充有隔热材料。该发明能够实现中间位置硅料的快速加热，有效控制中心热量向四周的传输，并控制热量向四个边角的传输，从而增加了中间热量的散发效率并降低了四周热量的散发效率，从而有效控制热交换的均匀度，有效控制长晶均匀度并提高多晶硅的铸锭质量及产品合格率。

主权项

一种多晶硅铸锭炉热循环系统，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于：所述加热系统还包括对应所述坩埚中部的中心平板铜电极及中心平板加热器，所述坩埚的中部设置有对应所述中心平板加热器的中心平板加热槽，所述中心平板加热器设置在所述中心平板加热槽内；所述散热平台沿厚度方向在下表面设置一圈横向隔热槽，所述散热平台沿宽度方向在四周端面设置一圈纵向隔热槽；所述横向隔热槽与纵向隔热槽内均填充有隔热材料；所述石墨护罩包括设置在所述坩埚侧部的石墨侧板，以及设置在所述坩埚底部的石墨底板，所述石墨侧板通过长度方向的卡槽与所述石墨底板周向凸出的卡块卡合连接；所述石墨底板上位于周向的卡块内侧设置有集液槽。