[发明专利]一种长程面形测量仪有效
| 申请号： | 201610100965.7 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105737758B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 彭川黔;何玉梅;王劼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 邓琪,余中燕 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种长程面形测量仪，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括扫描光学头和f‑θ角度检测系统，所述扫描光学头包括面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜，所述面光源水平放置，所述分束镜倾斜地设置在所述面光源下方，所述单孔屏紧贴在所述分束镜底面，所述平面反射镜倾斜地设置在所述单孔屏下方并与所述分束镜构成类五棱镜结构的双反射面。本发明减少了测量不同角度时测量光束横移引入的系统误差，从而提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长程 测量仪 | ||
【主权项】：
一种长程面形测量仪，用于对待测光学器件的表面进行面形检测，其包括扫描光学头和f‑θ角度检测系统，其特征在于，所述扫描光学头包括面光源、分束镜、单孔屏以及平面反射镜，所述面光源水平放置，所述分束镜倾斜地设置在所述面光源下方，所述单孔屏紧贴在所述分束镜底面，所述平面反射镜倾斜地设置在所述单孔屏下方并与所述分束镜构成类五棱镜结构的双反射面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海应用物理研究所，未经中国科学院上海应用物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610100965.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：摄像机安装仰角快速测定装置及测定方法
- 下一篇：植物株高田间测量装置与方法
