[发明专利]一种基于石墨烯的光滤波器件

摘要

一种基于石墨烯的光滤波器件，包括光耦合结构，光耦合结构包括电解质层、金属电极、石墨烯条带阵列、介质层、金属光栅和衬底，在电解质层和金属电极上设置有顶栅电压的调节装置；由石墨烯条带阵列、介质层与金属光栅构成的Fabry‑Perot微腔阵列位于衬底上，电解质层和金属电极分别位于Fabry‑Perot微腔上方的同一平面上。本发明基于目前极为成熟的微纳刻蚀加工技术以及多层膜技术，工艺流程不繁杂，操作简单。与传统的同频段滤波器件相比，石墨烯的引入大大缩小了耦合器件的尺寸。通过栅极电压调节石墨烯的费米能级来调控光过滤频率，实现了对光的主动控制，而且所需的功耗较小，品质因数大，响应速度快，具有很宽的工作频。

主权项

1.一种基于石墨烯的光滤波器件，其特征在于：包括光耦合结构，所述光耦合结构包括电解质层、金属电极、石墨烯条带阵列、二氧化硅介质层、金属光栅和衬底，所述电解质层与金属电极之间设置有顶栅电压的调节装置；所述二氧化硅介质层位于石墨烯条带阵列和金属光栅之间，所述石墨烯条带阵列、二氧化硅介质层、金属光栅构成Fabry‑Perot微腔阵列，位于衬底上，所述电解质层和金属电极分别位于Fabry‑Perot微腔的上方的同一平面上，所述金属光栅位于衬底上，所述电解质层和金属电极与石墨烯条带阵列相对设置。