[发明专利]可调控式不溶性阳极板及其应用于铜柱电镀的方法在审
| 申请号： | 201610031537.3 | 申请日： | 2016-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN106868574A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王彦智;杨家荣 | 申请（专利权）人： | 台湾先进系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D17/10;C25D21/12 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人： | 李昕巍,郑泰强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种可调控式不溶性阳极板及其应用于铜柱电镀的方法，该可调控式不溶性阳极板可应用于铜柱电镀工艺，包括一阳极板，一电源供应器，以及一控制器；其中，该阳极板还包括一极板，该极板是由一耐酸碱性的材料制成；多个金属柱，是依一排列方式内嵌于该极板内，该多个金属柱的每一个金属柱的一端面是露出于该极板的表面，以接触一电镀工艺使用的一电镀液，而另一端面则分别通过一导线连接于该电源供应器；该控制器是连接于该电源供应器，以控制该电源供应器对每一个金属柱的供应电流。本公开可改变通电面积与形状，亦可同时改变不同位置的输出电流大小，使得不溶性阳极板的不同位置具有单点可开/关或输出不同的电流大小。 | ||
| 搜索关键词： | 调控 式不溶性 阳极板 及其 应用于 电镀 方法 | ||
【主权项】：
一种可调控式不溶性阳极板，应用于铜柱电镀工艺，包含：一阳极板，一电源供应器，以及一控制器；其中，该阳极板还包括：一极板，该极板是由一耐酸碱性的材料制成；多个金属柱，是依一排列方式内嵌于该极板内，该多个金属柱的每一个金属柱的一端面是露出于该极板的表面，以接触一电镀工艺使用的一电镀液，而另一端面则分别通过一导线连接于该电源供应器；该控制器是连接于该电源供应器，以控制该电源供应器对每一个金属柱的供应电流。
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