[发明专利]石墨烯光吸收特性的玻璃基波导型光电探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯光吸收特性的玻璃基波导型光电探测器及制备方法。包括依次自下而上分布覆于玻璃衬底之上的玻璃基波导、石墨烯薄膜和两块金属电极，玻璃基波导呈条形位于玻璃衬底中部，石墨烯薄膜覆于玻璃基波导中部，两块金属电极相对称地位于石墨烯薄膜的两侧，每块金属电极中一部分直接覆于玻璃衬底上，另一部分覆于石墨烯薄膜上。本发明通过形成光电流信号来实现光电探测器的功能，电压低，结构简单，制作成本低，响应度高，可应用于集成光学，具有大规模生产的潜力。

主权项

一种基于石墨烯光吸收特性的光电探测器的制备方法，所述光电探测器包括依次自下而上分布覆于玻璃衬底(4)之上的玻璃基波导(1)、石墨烯薄膜(2)和两块金属电极(3)，玻璃基波导(1)呈条形位于玻璃衬底(4)中部，石墨烯薄膜(2)覆于玻璃基波导(1)上，两块金属电极(3)相对称地位于石墨烯薄膜(2)的两侧，每块金属电极(3)中一部分直接覆于玻璃衬底(4)上，另一部分覆于石墨烯薄膜(2)上；其特征在于所述制备方法包括以下步骤：步骤1)以玻璃基片作为玻璃衬底(4)，在玻璃基片表面处理制备获得带有玻璃基波导(1)的玻璃衬底(4)；步骤2)在玻璃衬底(4)上加工放置石墨烯，形成石墨烯薄膜(2)；步骤3)通过标准光刻工艺制作出金属电极(3)的图形，用电子束蒸发的方式将金属电极(3)蒸镀到石墨烯薄膜(2)和玻璃衬底(4)上。