[发明专利]一种硫化亚锡和掺镁氧化锌薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硫化亚锡和掺镁氧化锌薄膜太阳能电池及其制备方法。首先取一块透明导电衬底，利用磁控溅射法或超声喷雾法在透明导电衬底上依次沉积掺镁浓度不同的n型掺镁氧化锌薄膜叠层，然后利用等离子体增强化学气相沉积法在n型掺镁氧化锌薄膜叠层上沉积p型硫化亚锡薄膜，再在p型硫化亚锡薄膜上蒸镀一层铝膜，并利用电化学阳极氧化法将铝膜氧化制成多孔氧化铝薄膜，最后利用丝网印刷法或激光刻槽埋珊从p型硫化亚锡薄膜和透明导电衬底上分别引出金属电极。本发明的优点在于，不仅拓宽了传统硫化亚锡薄膜太阳能电池对光谱的响应范围，而且充分发挥多孔氧化铝薄膜的抗光散射能力，提高了太阳能电池的全光谱吸收率和光电转换效率。

主权项

一种硫化亚锡和掺镁氧化锌薄膜太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池结构从上到下依次为：金属电极、多孔氧化铝薄膜、p型硫化亚锡薄膜、n型掺镁氧化锌薄膜叠层、透明导电衬底。