[发明专利]高频激励脉冲产生等离子或激光脉冲方法设备和控制单元有效
| 申请号： | 201580083821.9 | 申请日： | 2015-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN108141949B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | R·舒尔茨;T·贝克 | 申请（专利权）人： | 通快激光与系统工程有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01S3/134;H01S3/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的方法，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值(11)以高频激励脉冲(13)激励介质。所述高频激励脉冲(13)至少部分地与所述介质的先前高频激励相关地确定。至少部分地如此实现所述高频激励脉冲(13)的确定，使得所述介质通过先前高频激励的剩余激励越高，所述高频激励脉冲(13)尤其在所述高频激励脉冲的开始时刻和/或结束时刻改变的情况下缩短得越强烈。此外，本发明涉及一种用于高频激励脉冲发生器的控制单元、一种高频激励脉冲发生器和一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的设备、尤其气体放电激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 高频激励脉冲 等离子脉冲 激光脉冲 发生器 气体放电激光器 高频激励 方法和设备 开始时刻 预给定 | ||
【主权项】：
1.一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的方法，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值(11)借助高频激励脉冲(13)激励介质(2)，其中，至少部分地根据所述介质(2)的先前高频激励确定所述高频激励脉冲(13)，其特征在于，至少部分地如此实现所述高频激励脉冲(13)的确定，使得所述介质(2)的通过所述先前高频激励的剩余激励越高，则使所述高频激励脉冲(13)越强烈地能量降低，并且使所述高频激励脉冲(13)至少部分地能量降低，其方式是：在改变所述高频激励脉冲的开始时刻和/或结束时刻的情况下将所述高频激励脉冲缩短。
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