[发明专利]层厚度的计算有效
申请号: | 201580079475.7 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN107548448B | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 阿维沙·莫什尔 | 申请(专利权)人: | 惠普深蓝有限责任公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;B41F33/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 潘怀仁;王珍仙 |
地址: | 荷兰阿姆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 处理电路包括接收数据的电路,其中所述数据表示基底区域的测量,该区域具有第一层和第二层,并且第一和第二层相对于基底一层设置在另一层的上方。该测量表示与第一层相关联的光学参数。处理电路还包括基于接收的数据来计算第二层的厚度的电路。 | ||
搜索关键词: | 厚度 计算 | ||
【主权项】:
处理电路,其包括:接收数据的电路,所述数据表示基底区域的测量,所述区域具有第一层和第二层,所述第一层和第二层相对于基底一层设置在另一层的上方,所述测量表示与所述第一层相关联的光学参数;基于所接收的数据计算所述第二层的厚度的电路。
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