[发明专利]横截面不同的电子束窗口瓦片在审
| 申请号： | 201580074491.7 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN107533940A | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 瑞驰·阿莱克西;伊姆迪亚兹·朗沃拉;乔纳森·伯劳 | 申请（专利权）人： | 能量科学有限公司 |
| 主分类号： | H01J33/04 | 分类号： | H01J33/04;H01J33/00;G21K1/00 |
| 代理公司： | 北京市安伦律师事务所11339 | 代理人： | 杨永波 |
| 地址： | 美国马萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子束系统窗口瓦片。所述窗口瓦片包括第一表面、第二表面以及从所述第一表面延伸至所述第二表面的一个或以上结构。所述一个或以上结构具有位于所述第一表面和所述第二表面之间的不同的或逐渐变窄的横截面。所述第一表面可以被配置为暴露于真空环境，并可以被配置为接收由电子束生成器加速的电子。第二表面被配置为允许电子穿过并射向箔片。所述窗口瓦片可通过多种方面完善电子束处理系统，例如，增加电子通过量、降低电能消耗、减少所述箔片热量吸收、改善并延长箔片寿命、能够在电子束处理过程中使用尺寸更小、价格更低的机器。 | ||
| 搜索关键词： | 横截面 不同 电子束 窗口 瓦片 | ||
【主权项】：
一种电子束系统窗口瓦片，包括：第一表面与第二表面；以及一个或以上从所述第一表面延伸至第二表面的结构；其中所述一个或以上结构在所述第一表面和所述第二表面之间具有不同的横截面。
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