[发明专利]MS用氮气安全供给监视器和氮气生成装置有效
| 申请号： | 201580074151.4 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN107209150B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 鹈岛善久;山本清 | 申请（专利权）人： | 电子系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;C01B21/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;刘畅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在压缩空气生成器与氮气分离器之间设置有MS用氮气安全供给监视器。从氮气分离器排出的氮气被供给到质量分析计等分析装置。MS用氮气安全供给监视器具有：气体导入口；气体排出口；配管，其将所述气体导入口和所述气体排出口连结；切断阀，其设置在所述配管的中途；水过滤器，其设置于所述配管的中途，对在所述配管中流动的气体的水分进行过滤；水传感器，其对通过所述水过滤器过滤出的水进行检测；以及控制部，其在通过所述传感器检测出水时关闭所述切断阀。所述控制部也可以对关闭所述切断阀的日期时间进行记录。MS用氮气安全供给监视器还可以具有通知单元，该通知单元对由所述控制部关闭所述切断阀的情况进行通知。 | ||
| 搜索关键词： | ms 氮气 安全 供给 监视器 生成 装置 | ||
【主权项】：
一种MS用氮气安全供给监视器，该MS用氮气安全供给监视器具有：气体导入口；气体排出口；配管，其将所述气体导入口和所述气体排出口连结；切断阀，其设置在所述配管的中途；水过滤器，其设置在所述配管的中途，对在所述配管中流动的气体的水分进行过滤；水传感器，其对由所述水过滤器过滤出的水进行检测；以及控制部，其在通过所述水传感器检测出预定的量以上的水时关闭所述切断阀。
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