[发明专利]光谱光束轮廓计量

摘要

本发明涉及一种光谱光束轮廓计量系统，其同时检测在大波长范围及大入射角AOI范围内的测量信号。一方面，多波长照明光束在由高数值孔径物镜投射到样品上之前被重新塑形成窄线形状的光束。在与所述样品相互作用之后，收集到的光行进通过波长色散元件，所述波长色散元件沿着二维检测器的一个方向投射所述AOI范围且沿着二维检测器的另一方向投射波长分量。因此，在所述检测器中的每一像素处检测到的所述测量信号各自表示特定AOI及特定波长的散射测量信号。另一方面，运用超光谱检测器同时检测在大波长范围、AOI范围及方位角范围内的测量信号。

主权项

1.一种计量系统，其包括：/n多波长照明源，其经配置以提供具有多个波长及二维光束强度横截面的照明光束；/n光束塑形元件，其经配置以对所述照明光束重新塑形使得所述经重新塑形的照明光束具有近似一维的光束强度横截面；/n高数值孔径NA物镜，其经配置以接收所述经重新塑形的照明光束，运用所述经重新塑形的照明光束照明样品的表面上的测量位点，且响应于在入射角范围内所述测量位点的所述照明，从所述测量位点收集光；/n第一波长色散元件，其经配置以接收所述收集到的光，根据入射角透射所述收集到的光，且根据波长色散所述接收到的经收集光；及/n第一二维检测器，其经配置以沿着所述第一二维检测器的第一维度检测由所述第一波长色散元件根据入射角透射的所述经收集光，且沿着所述第一二维检测器的第二维度检测由所述波长色散元件根据波长色散的所述经收集光。/n