[发明专利]多功能分光装置

摘要

本发明涉及一种多功能分光装置，其包括：第一透镜，安装在由平行光产生部发射的平行光的发射方向上并配置成相对于平行光的光轴聚焦其中央部分中的光；第二透镜，设置成面对第一透镜并配置成将经由第一透镜的第一焦点且被扩散的光转换为平行光；参照镜，安装成面对第二透镜以反射穿过第二透镜的光；分束器，安装在第一透镜与第二透镜之间，并设置成将穿过第一透镜的一部分光反射到与第一透镜的光轴相交的方向上并且将其余的光朝着第二透镜透射；第三透镜，配置成将经由分束器的光聚焦到测量对象上；第四透镜，配置成聚焦通过测量对象反射的且反向穿过第三透镜和分束器的光；第五透镜，配置成将经由第四透镜的第二焦点扩散的光转换为平行光；以及衍射光栅，相对于第五透镜的光轴倾斜设置并配置成使穿过第五透镜的平行光衍射并分离平行光。这种多功能分光装置提供的优点在于能够利用集成光学系统以期望的测量方法测量膜厚度、表面形状和折射率。

主权项

1.一种多功能分光装置，包括：平行光产生部，配置成产生并发射平行光；第一透镜，安装在由所述平行光产生部发射的所述平行光的发射方向上，并配置成相对于所述平行光的光轴聚焦所述第一透镜的中央部分中的光；第二透镜，设置成面对所述第一透镜，并配置成将经由所述第一透镜的第一焦点且被扩散的光转换为平行光；参照镜，安装成面对所述第二透镜以反射穿过所述第二透镜的光；分束器，安装在所述第一透镜与所述第二透镜之间，并设置成将穿过所述第一透镜的一部分光反射到与所述第一透镜的光轴相交的方向上并且将其余的光朝着所述第二透镜透射；第三透镜，配置成将经由所述分束器的光聚焦到测量对象上；第四透镜，配置成聚焦通过所述测量对象反射的并反向穿过所述第三透镜和所述分束器的光；第一光路开关，配置成切换光路使得由所述平行光产生部产生的、朝着除所述第一透镜以外的区域行进的、不穿过所述第一透镜的且通过所述分束器反射行进的光倾斜地入射到所述测量对象的表面上；以及第二光路开关，配置成切换从所述第一光路开关行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光的光路，以使从所述第一光路开关行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光在与所述第三透镜的光轴平行的方向上行进。