[发明专利]照明系统、具有照明系统的检验工具及操作照明系统的方法在审
| 申请号： | 201580055825.6 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN106796181A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | F·考文贝里斯;J·德格里夫;P·贝古奇;K·戈尔曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种照明系统、一种检验工具及一种用于检验对象的方法。可配置区域光源布置于照明光束路径的照明光轴中，其中所述可配置区域光源经配置使得可设定不同光束直径。至少一个照明透镜定位于所述照明光束路径中以将准直光束至少引导到所述对象的表面上的视野上，其中所述照明光束路径的所述照明光轴的入射角的值等于成像光束路径的成像光轴的反射角的值。本发明允许在一种照明系统中组合广角同轴照明及准直同轴照明的功能性。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 具有 检验 工具 操作 方法 | ||
【主权项】：
一种用于准直照明的照明系统，其包括：可配置区域光源，其布置于照明光束路径的照明光轴中，其中所述可配置区域光源经配置使得可设定不同光束直径；成像光束路径的成像光轴；及至少一个照明透镜，其定位于所述照明光束路径中以将准直光束引导到对象的表面上的视野上，其中所述照明光束路径的所述照明光轴的入射角的值等于所述成像光束路径的所述成像光轴的反射角的值。
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