[发明专利]蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法和显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201580054917.2 | 申请日： | 2015-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN106795633B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 全重翼;印致成;李美顺;申铉亿;裴俊佑 | 申请（专利权）人： | 三永纯化株式会社;三菱瓦斯化学株式会社;三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/30;C23F1/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;尹明花 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻液组合物、多层膜的蚀刻方法、和显示装置的制造方法，其中，本发明的蚀刻液组合物包含：(A)铜离子供给源；(B)分子内具有1个以上的羧基的有机酸离子供给源；(C)氟离子供给源；(D)作为第一添加剂的蚀刻调节剂、表面氧化力提高剂、或者这些的组合；以及(E)作为第二添加剂的表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 多层 方法 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含：(A)铜离子供给源；(B)分子内具有1个以上的羧基的有机酸离子供给源；(C)氟离子供给源；(D)作为第一添加剂的蚀刻调节剂、表面氧化力提高剂、或者这些的组合；以及(E)作为第二添加剂的表面活性剂。
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- 本发明提出一种金属调节液、复合膜液以及金属锅表面处理工艺，本发明的金属调节液，改变了原金属锅表面的金相结构,使其表面由原光滑变为表面布满微孔,以便聚四氟乙烯涂料能有效渗透到微孔内,达到树根效应。本发明的复合膜液中，氟锆酸.九水合硝酸铬等在与金属锅表面形成一层复合膜,在复合膜中的氟锆酸作用是金属锅表面与聚四氟乙烯涂料产生良好的相容性作用,达到金属锅表面与聚四氟乙烯涂料良好的粘结效果。本发明的金属锅表面的处理工艺，采用金属调节液和复合膜液实现了聚四氟乙烯与金属锅内表面良好的粘结效果，从而保证操作人员的身体健康，比起传统的打砂工艺，采用化学的方法，也大大增加了生产效率，适合大规模的工厂化生产。
- 一种酸喷淋装置-201920972731.0
- 严季新;李豪杰 - 南通海星电子股份有限公司;南通海一电子有限公司;四川中雅科技有限公司
- 2019-06-26 - 2020-04-14 - C23F1/16
- 本实用新型公开了一种酸喷淋装置，包括酸喷淋管，酸喷淋管内部设有隔板，隔板将酸喷淋管分成两部分，一部分的管壁上设有多个第一喷淋孔，另一部分的管壁上设有多个第二喷淋孔，酸喷淋管的一端设有球阀，球阀包括阀体，阀体内设有两扇半圆形阀板，两扇半圆形阀板分别连接阀杆。本实用新型对酸喷淋管进行改造，将当前的一根喷淋管中间一分为二，并在喷淋管的喷射面和对面斜上方开设均匀分布的小眼，并在喷淋管的液体输入口设置两扇半圆形阀板，以对应控制喷淋管中不同面的流量大小，喷射面的孔洞用来喷射液体对腐蚀箔表面进行处理，另一侧通过调节阀门大小利用开设的孔洞进行滴酸对喷淋表面进行清洗，这样可以有效解决酸喷淋结晶问题。
- 专利分类
