[发明专利]真空泵系统在审
| 申请号： | 201580031572.9 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN106662106A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德赖费特;罗兰·马勒;麦克斯·百利金;德克·席勒;丹尼尔·施奈登巴赫;德克·施特拉特曼 | 申请（专利权）人： | 莱宝有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02;F04C28/26 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙)11412 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于对腔室抽真空的真空泵系统，该腔室具体地为锁止腔室或处理腔室，该真空泵系统包括主真空泵(12)，其优选地配置为螺杆泵。该主真空泵(12)的入口(30)与将要被抽真空的所述腔室连接。辅真空泵(24)，具体为罗茨泵，被布置在主真空泵(12)的馈送方向上。所述主真空泵(12)的出口区(32)一方面与主出口(34)连接，并且另一方面与所述辅真空泵的入口(38)连接。进一步，辅真空泵的出口(40)与所述主出口(34)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
一种用于对腔室抽真空的真空泵系统，该腔室具体地为锁止腔室或处理腔室，该真空泵系统包括：主真空泵(12)，其入口(30)与将要被抽真空的所述腔室连接，所述主真空泵(12)的如流向中所看到的辅真空泵(24)下游，其中所述主真空泵(12)包括出口区(32)，其一方面与主出口(34)连接，并且另一方面与所述辅真空泵(24)的入口(38)连接，并且其中所述辅真空泵的出口(40)与所述主出口(34)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于莱宝有限公司，未经莱宝有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580031572.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
