[发明专利]用来将基板保持在二级装置内的设备有效
申请号: | 201580028007.7 | 申请日: | 2015-05-21 |
公开(公告)号: | CN106415356B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | S·夸里;D·斯图尔特 | 申请(专利权)人: | 瑞尔赛特股份有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G01N33/50;G02B7/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王初 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本公开涉及一种设备,该设备用来可靠地保持基板,诸如显微镜载物片。一种保持器包括框架,该框架包括至少三个壁,诸如基部、第一臂和第二臂。每一个壁包括用来支承基板的平台或平台的一部分。第一臂包括至少一个固定块并且与第一臂相对的第二臂包括具有固定块的固定杆。该固定块包括:坡道部,该坡道部用来引导基板离开平台;以及止挡部,该止挡部用来设置最大升起距离且用来约束基板。 | ||
搜索关键词: | 用来 将基板 保持 二级 装置 设备 | ||
【主权项】:
1.一种用来保持基板的装置,所述装置包括:基部,所述基部包括基部平台,所述基部平台用来支承基板的一部分;第一臂,所述第一臂包括:近端部,所述近端部连接到所述基部的第一端部;远端部,所述远端部从所述基部延伸;至少一个固定块;以及第一平台,所述第一平台用来支承所述基板的另一部分;以及第二臂,所述第二臂包括:近端部,所述第二臂所包括的近端部连接到所述基部的第二端部;远端部,所述第二臂所包括的远端部从所述基部延伸,固定杆,所述固定杆包括固定块;以及第二平台,所述第二平台用来支承所述基板的另一部分,其中,所述基部平台以及所述第一臂和第二臂从所述基部沿相同的方向延伸,其中,每一个固定块包括坡道部以及止挡部,并且其中,所述第一平台向着所述第二臂延伸、并且所述第二平台向着所述第一臂延伸。
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