[实用新型]一种支撑柱热场有效
| 申请号： | 201520761268.7 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204982134U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉滨 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种支撑柱热场，包括铸锭炉下腔室，所述铸锭炉下腔室包括下腔室底座、大隔热板和小隔热板，在所述大隔热板和小隔热板之间设置一层软碳毡，在所述下腔室底座内放置石墨垫块，在所述石墨垫块上放置石墨柱。本实用新型抬高整个铸锭坩埚的高度，使硅锭长晶位置抬高，位于高位置的温度梯度，变相增加整体的环境温度；而且没有增加能耗，且补偿了热场的保温性变差带来的影响；另外，增加软毡是为了在长晶过程中使硅锭底部温度散温速率减缓，长晶速率减慢，减少硅锭底部的阴影的比率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 柱热场 | ||
【主权项】：
一种支撑柱热场，包括铸锭炉下腔室，其特征在于，所述铸锭炉下腔室包括下腔室底座、大隔热板和小隔热板，在所述大隔热板和小隔热板之间设置一层软碳毡，在所述下腔室底座内放置石墨垫块，在所述石墨垫块上放置石墨柱。
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