[实用新型]光掩膜版用涂胶卡盘

摘要

本实用新型公开了一种光掩膜版用涂胶卡盘，包括卡盘本体，卡盘本体上设有用于卡持待涂胶的光掩膜版的第一凹槽，第一凹槽呈与光掩膜版相适应的环形，第一凹槽的底部设有用于与装设于第一凹槽内的光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件。采用本实用新型的光掩膜版用涂胶卡盘时，由于第一凹槽的底部设有用于与装设于第一凹槽内的光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件，故当光掩膜版装设于第一凹槽内时，由于摩擦件与光掩膜版底部的静摩擦力，从而使当卡盘具有较高的速度和加速度时，光掩膜版与卡盘之间不会出现沿轴线方向的相对移动，从而提高环形光掩膜版涂覆光刻胶的均匀性。

主权项

一种光掩膜版用涂胶卡盘，其特征在于，包括卡盘本体(1)，所述卡盘本体(1)上设有用于卡持待涂胶的光掩膜版的第一凹槽(101)，所述第一凹槽(101)呈与所述光掩膜版相适应的环形，所述第一凹槽(101)的底部设有用于与装设于所述第一凹槽(101)内的所述光掩膜版的底部抵触以提供静摩擦力的摩擦件(2)。