[实用新型]用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统及多晶硅生产装置有效
申请号: | 201520461598.4 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN204746589U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 孙强;万烨;严大洲 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | B03C3/04 | 分类号: | B03C3/04;B03C3/40;B03C3/34 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵囡囡;吴贵明 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统及多晶硅生产装置。其中,还原尾气除尘系统包括对来自多晶硅还原炉的还原尾气进行净化处理的静电除尘结构。根据本实用新型的技术方案,利用静电除尘结构的静电除尘原理可以吸附还原尾气中的无定形硅等粉尘,有效避免了上述粉尘堵塞还原尾气口或者后续设备,从而保证了还原尾气管道的畅通。 | ||
搜索关键词: | 用于 多晶 还原 尾气 除尘 系统 生产 装置 | ||
【主权项】:
一种用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统,其特征在于,所述还原尾气除尘系统包括对来自所述多晶硅还原炉(40)的还原尾气进行净化处理的静电除尘结构(1)。
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