[实用新型]一种湿法腐蚀装置有效
申请号: | 201520184874.7 | 申请日: | 2015-03-31 |
公开(公告)号: | CN204625174U | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 苗斌;李加东;魏晓伟;吴东岷 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种湿法腐蚀装置,包括腐蚀槽,该腐蚀槽具有一收容空间,所述收容空间内设置有一腐蚀架,所述腐蚀槽相对的两侧分别设有一进液口和一出液口,所述进液口和出液口之间通过循环管道连通,所述循环管道上设置有一循环泵。本新型的湿法腐蚀装置可以提供低真空环境,可以降低腐蚀液表面张力,加速滞留在腐蚀面上的气泡析出,改善腐蚀质量。循环搅拌装置可以使腐蚀液流动起来,起到搅拌作用,并且可以使腐蚀液温度分布更为均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿法 腐蚀 装置 | ||
【主权项】:
一种湿法腐蚀装置,其特征在于,包括腐蚀槽,该腐蚀槽具有一收容空间,所述收容空间内设置有一腐蚀架,所述腐蚀槽相对的两侧分别设有一进液口和一出液口,所述进液口和出液口之间通过循环管道连通,所述循环管道上设置有一循环泵。
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