[实用新型]硅锭粘接晶托的装拆移运防碰撞装置有效
申请号: | 201520120833.1 | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN204585586U | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 吴继贤;徐静霞;姜磊;仇定毅 | 申请(专利权)人: | 国电兆晶光电科技江苏有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅锭粘接晶托的装拆移运防碰撞装置,包括悬臂固定板和斜面悬臂梁,斜面悬臂梁固定安装在悬臂固定板上,两个斜面悬臂梁与V形对接轨道接触面为支承面,两个支承面底端之间的距离介于晶托连接颈宽度与V形对接轨道顶端宽度之间,两个支承面顶端之间的距离小于V形对接轨道顶端宽度,两个斜面悬臂梁的支承面的形状与V形对接轨道相配合。由于本防碰撞装置的斜面悬臂梁与V形对接轨道相配合,将晶托接触面从晶托矩形粘接面改为V形对接轨道,斜面悬臂梁无论怎样都不会与晶体硅棒或者成品硅片相碰撞,杜绝了上下棒的操作过程中,晶体硅棒或者成品硅片因滑动与铲运装置碰撞造成的损坏,无废片,生产效率高,减少生产成本。 | ||
搜索关键词: | 硅锭粘接晶托 装拆移运防 碰撞 装置 | ||
【主权项】:
一种硅锭粘接晶托的装拆移运防碰撞装置,其特征是:包括悬臂固定板(1)和斜面悬臂梁(3),两个斜面悬臂梁(3)固定安装在悬臂固定板(1)上,两个斜面悬臂梁(3)的相对面设置为与切割晶托上的V形对接轨道(11)相接触的支承面(4),两个支承面(4)底端之间的距离介于晶托连接颈(12)的宽度与V形对接轨道(11)顶端的宽度之间,两个支承面(4)顶端之间的距离小于V形对接轨道(11)顶端的宽度,两个斜面悬臂梁(3)的支承面(4)的形状与V形对接轨道(11)相配合。
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