[实用新型]一种透射式硅纳米阵列光分束器有效
| 申请号： | 201520096254.8 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN204422813U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 李子乐;郑国兴;何平安;李松;张霜 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种透射式硅纳米阵列光分束器，属于微纳光学领域。一种透射式硅纳米阵列光分束器，包括晶体硅衬底和在晶体硅衬底上刻蚀出的若干个周期分布的硅纳米棒阵列；所述每个周期分布的硅纳米棒阵列包含若干个均匀分布的朝向不同的长方体硅纳米棒。其优点是：全硅纳米棒光分束器只需要在工作面上转动方向即可实现(0-360)°范围的位相调制，可等效于任意面型位相调制器件，且只需要传统二台阶浮雕DOE的工艺步骤；而纳米棒光分束器对加工误差的容忍度远超过传统DOE；全硅器件不仅减少了一道镀膜工艺，而且进一步地提高了器件的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 纳米 阵列 光分束器 | ||
【主权项】：
一种透射式硅纳米阵列光分束器，其特征在于：包括晶体硅衬底和在晶体硅衬底上刻蚀出的若干个周期分布的硅纳米棒阵列；所述每个周期分布的硅纳米棒阵列包含若干个均匀分布的朝向不同的长方体硅纳米棒。
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