[发明专利]建立物件轮廓影像的扫描装置及方法有效

专利信息
申请号: 201511002364.4 申请日: 2015-12-28
公开(公告)号: CN106840035B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 詹家铭;蔡宗立;胡博期;叶昭永;杨义成 申请(专利权)人: 财团法人金属工业研究发展中心
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;常大军
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种建立物件轮廓影像的扫描装置及方法,该扫描装置包含一光源、一光感测器及一处理器。该扫描方法包含:提供一投射偏振光束;将该投射偏振光束投射至一待扫描物件,且该待扫描物件依据该投射偏振光束反射对应的一反射偏振光束;拍摄该反射偏振光束;依据该投射偏振光束及该反射偏振光束计算一偏振态信息,该偏振态信息具有一法线面角度及一对应点位置;以及依据该偏振态信息还原该待扫描物件的轮廓影像,以提升扫描物件轮廓的精确度。
搜索关键词: 建立 物件 轮廓 影像 扫描 装置 方法
【主权项】:
1.一种建立物件轮廓影像的扫描方法,其特征在于,包含下列步骤:提供一投射偏振光束;将该投射偏振光束投射至一待扫描物件,且该待扫描物件依据该投射偏振光束反射对应的一反射偏振光束;拍摄该反射偏振光束;依据该投射偏振光束及该反射偏振光束计算一偏振态信息,该偏振态信息具有一法线面角度及一对应点位置,其中:依据该投射偏振光束的一投射偏振角度信息及该反射偏振光束的一反射偏振角度信息的一增益比计算该法线面角度;及藉由拍摄该反射偏振光束,以三角测量法推导出该对应点位置;以及依据该偏振态信息还原该待扫描物件的轮廓影像。
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