[发明专利]研磨垫的表面性状测定方法和装置有效
申请号: | 201510973911.7 | 申请日: | 2015-12-22 |
公开(公告)号: | CN105738320B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 松尾尚典;望月宣宏;铃木惠友;田尻贵宽;卡琼路鲁安帕纳特 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所;国立大学法人九州工业大学 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01B11/30;B24B53/017 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 梅高强;张丽颖 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种研磨垫的表面性状测定方法和装置,通过使激光以多个入射角向研磨垫入射,从而能够对反映出CMP性能的研磨垫的表面性状进行测定。在研磨垫(2)的表面性状测定方法中,通过对研磨垫(2)的表面照射激光,接受由研磨垫表面反射的光并进行傅里叶转换,从而求出研磨垫(2)的表面性状,其中,使激光以多个角度向研磨垫(2)入射。 | ||
搜索关键词: | 研磨 表面 性状 测定 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种研磨垫的表面性状测定方法,其特征在于,向研磨垫的表面照射激光,接受由研磨垫表面反射的光并进行傅里叶转换,从而求出研磨垫的表面性状,在该研磨垫的表面性状测定方法中,使激光以多个角度向研磨垫入射。
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