[发明专利]压印方法、压印设备、模具和产品制造方法有效
申请号: | 201510760851.0 | 申请日: | 2015-11-10 |
公开(公告)号: | CN105584030B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 关淳一;沖仲元毅 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B29C59/02 | 分类号: | B29C59/02;B29C33/00;G03F7/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 贾金岩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种压印方法,其通过形成在模具上的图案部分模制施加到基板的未固化的树脂并且固化未固化的树脂,以便形成固化在基板上的树脂的图案。压印方法包括从树脂释放图案部分的步骤,使得基于图案部分被从树脂剥离的边界是直线的假设,两条相对的边界相互靠近以使剥离进展同时在树脂固化之后保持平行状态。 | ||
搜索关键词: | 树脂 压印 图案 未固化 基板 固化 模具 剥离 产品制造 平行状态 树脂固化 压印设备 模制 施加 释放 | ||
【主权项】:
一种用于利用模具在施加到基板上的压印材料上形成图案的压印方法,所述压印方法包括以下步骤:在压印材料固化之后,基于模具被从压印材料剥离的边界是直线的设定,从所述压印材料释放所述模具,使得两条相对的边界在相互靠近的同时保持直线状态。
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