[发明专利]清洗装置和蚀刻系统

摘要

本发明公开了一种清洗装置和刻蚀系统，其中该清洗装置包括超声波发生装置和隔离层，隔离层设置在超声波发生装置的外部；超声波发生装置用于产生并发射超声波，以对曝气管进行超声波清洗；隔离层用于隔离超声波发生装置和蚀刻槽中的蚀刻液，以避免超声波发生装置与蚀刻液接触。本发明的技术方案通过利用超声波发生装置，可快速、便捷地对蚀刻槽中的曝气管进行清洗，进而提升蚀刻系统的稼动率。与此同时，隔离层可有效的保护超声波发生装置，以避免超声波发生装置被刻蚀液腐蚀，从而保证了清洗装置的使用寿命。

主权项

一种清洗装置，用于对蚀刻槽中的曝气管进行清洗，其特征在于，包括：超声波发生装置和隔离层，所述隔离层设置在所述超声波发生装置的外部；所述超声波发生装置用于产生并发射超声波，以对所述曝气管进行超声波清洗；所述隔离层用于隔离所述超声波发生装置和所述蚀刻槽中的蚀刻液，以避免超声波发生装置与所述蚀刻液接触；所述超声波发生装置包括：超声波振板和导线，所述导线与超声波振板连接；所述导线用于在与电源连接后向所述超声波振板传输电能，以供所述超声波振板产生超声波；所述隔离层为隔离槽，所述超声波振板位于所述隔离槽内，所述隔离槽和所述超声波振板之间设置有超声传导介质；所述超声波振板用于产生并发射超声波，以对与所述隔离槽的底部之间的距离处于预设范围内的所述曝气管进行超声波清洗；所述超声传导介质为水溶液，所述水溶液中溶解有紫色石蕊试剂。