[发明专利]疾病检测仪

摘要

特别的，本发明提供了一种疾病检测的仪器，包含生物样品输送系统，检测器件和探测器件。所述检测器件和探测器件包含一种微型器件，支持微型器件的衬底，接触待测生物样品的微型器件，能够测量生物材料在微观尺度的电学、磁学、电磁学、热学、光学、声学、生物学、化学或力学性质。

主权项

1.一种检测生物样本中疾病的装置，包括由一方法制造的检测器件，该方法包括：提供一个衬底；选择性图形化衬底以形成至少一个凹陷区域；将材料A淀积至衬底上以覆盖至少衬底上选择的凹陷区域；将材料A平坦化以去除衬底上至少部分材料A，并在选择的凹陷区域保留材料A；将材料B淀积至材料A上及选择性地淀积至衬底上的凹陷区域；将材料B图形化以形成至少一个凹陷区域；将材料X淀积至材料B上以覆盖材料B及其凹陷区域；将材料X图形化以在材料B凹陷区域上形成至少一个比材料B凹陷区域小的通孔；通过湿法刻蚀、等离子刻蚀、或活气相刻蚀去除至少部分材料B与部分材料A，以在材料X和衬底或材料A间形成通道或腔室；及淀积材料Y以密封材料X上的至少一个小通孔。