[发明专利]柔性化在线制备微细群线电极的方法

摘要

本发明公开了一种柔性化在线制备微细群线电极的方法，属于电化学微细制造领域。其特征在于包括以下过程1、将一金属薄片和群线电极分别固定于工件夹具和群线电极夹具内，并分别与超短脉冲电源的正极和负极相连，以实现阴极工具的柔性化制备；所述阴极工具由与群线电极中各电极丝所对应的微缝和阴极孔组成；加工结束后，电极丝位于阴极孔的中心；2、阴极工具和群线电极分别接超短脉冲电源的正极和负极，利用线电极的轴向往复运动，实现亚微米群线电极的在线制备；3、电极丝沿所述微缝“退出”阴极工具，接着将阴极工具替换为待加工工件；群线电极和工件分别接超短脉冲电源的负极和正极，并进行多线电极微细电解线切割加工。

主权项

一种柔性化在线制备微细群线电极的方法，其特征在于包括以下过程：步骤1、准备工作：将金属片（7）固定在金属片夹具（5）上，金属片夹具（5）安装在电解液槽（4）中，将电解液充满电解液槽（4）并浸没金属片（7）；电解液槽（4）通过压电陶瓷（3）安装于机床本体（2）上；使金属片（7）与水平面平行；将群线电极（8）固定于群线电极夹具（9）上，群线电极夹具（9）安装于X‑Y‑Z三轴精密移动平台（14）上；X‑Y‑Z三轴精密移动平台（14）安装于机床本体（2）上；使群线电极（8）轴线方向与水平面垂直；机床本体（2）安装于气浮平台（1）上；步骤2、利用群线电极（8）作为电解加工阴极在金属片（7）上加工出群孔，具体过程如下：将金属片（7）与超短脉冲电源（6）正极相连，群线电极（8）与超短脉冲电源（6）负极相连，利用群线电极（8）作为电解加工阴极对金属片（7）进行加工；加工同时利用压电陶瓷（3）使金属片（7）产生振动；加工过程中，群线电极（8）的线电极先在金属片（7）加工出直线微缝（16）；接着加工出与直线微缝（16）相连的圆孔（17）；再使线电极进给至圆孔（17）的圆心处；步骤3、利用金属片（7）作为电解加工阴极对群线电极（8）进行微细加工，具体过程如下：保持群线电极（8）位置不变，将群线电极（8）与超短脉冲电源（6）正极相连，金属片（7）与超短脉冲电源（6）负极相连，利用金属片（7）作为电解加工阴极对群线电极（8）进行进一步加工；加工同时利用X‑Y‑Z三轴精密移动平台（14）Z轴使群线电极（8）产生Z向往复运动；加工完成后线电极（8）通过金属片（7）上的直线微缝（16）退出金属片（7）。