[发明专利]在片S参数共面波导TRL校准件有效
| 申请号： | 201510464446.4 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104991215B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;刘晨;张立森;邢东 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在片S参数共面波导TRL校准件，涉及太赫兹在片S参数测试装置技术领域。所述校准件包括衬底层，所述衬底层的制作材料与被测件的衬底材料相同，所述衬底层的上表面设有直通标准件、反射标准件和传输线标准件，所述衬底的下表面覆盖有金属层，所述直通标准件、反射标准件和传输线标准件的地线分别通过贯穿于衬底层的通孔与金属层连接，所述直通标准件、反射标准件和传输线标准件的地线的探针终点处设有对标标记。校准件校准精度更高，操作更简单，并且避免了去嵌入带来的误差，能够更准确的表征器件特性。 | ||
| 搜索关键词： | 参数 波导 trl 校准 | ||
【主权项】：
一种在片S参数共面波导TRL校准件，其特征在于：包括衬底层(1)，所述衬底层(1)的制作材料与被测件的衬底材料相同，所述衬底层(1)的上表面设有直通标准件Thru(2)、反射标准件Reflect(3)和传输线标准件Line(4)，所述衬底层(1)的下表面覆盖有金属层(5)，所述直通标准件Thru(2)、反射标准件Reflect(3)和传输线标准件Line(4)的地线(6)分别通过贯穿于衬底层(1)的通孔(7)与金属层(5)连接，所述直通标准件Thru(2)、反射标准件Reflect(3)和传输线标准件Line(4)的地线(6)的探针终点处设有对标标记(8)；所述直通标准件Thru(2)和传输线标准件Line(4)的特征阻抗为50Ω，校准时的校准频率范围为220GHZ‑325GHZ；所述衬底层(1)的相对介电常数为12.5，厚度为50μm；所述金属层(5)的厚度为2μ m ，制作材料为金；所述直通标准件Thru(2)的长度为120μm；所述反射标准件Reflect(3)采用开路结构；所述传输线标准件Line(4)有3条，长度分别为210μm、240μm和270μm；所述地线(6)的宽度为100μm，所述通孔的宽为25μm，长为60μm；所述对标标记(8)的长和宽为4μm。
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