[发明专利]硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器

摘要

本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和两对分别位于两个射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在两个不同的射流敏感室内分别与两个射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且两对热线分别串联，热线电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，比普通单射流敏感室的气流式角速度传感器的灵敏度高，实用性强。

主权项

1.一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，所述Z轴角速度传感器由双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，所述的缓冲硅胶片、双通道循环流式Z轴角速度芯片和与其实现电气连接的PCB电路板依次装在底座上，扣上外壳密封，电源和信号经底座上玻璃灌装的引线引出，所述双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；其中，所述压电陶瓷圆振子嵌入至所述PET上盖上；所述上硅板上设置有射流网络；所述下硅板上设置有射流网络和热线；所述PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片；所述PET上盖的中心开设一圆形泵槽，在所述泵槽的中心开设一圆形泵孔，泵槽的边缘为一高度为PET上盖厚度1/4的台阶，将所述压电陶瓷圆振子粘接在所述台阶上；所述上硅板与所述圆形泵孔对应处开设一形状尺寸与圆形泵孔相同的圆柱形泵腔，在所述泵腔圆周上相隔半个周长开口形成两个截面为倒梯形的排气孔，所述排气孔的末端为两个排气口；所述排气口外设置一圆环形排气室；以所述排气室的圆心为中心，在圆环形排气室的圆周上放射状交替均匀开设两组共四个长方形孔；其中，两个所述排气孔对应两个集流槽；与两个所述集流槽相邻的是两个上敏感射流孔，所述上敏感射流孔的始端与所述排气室相通；所述集流槽的末端和所述上敏感射流孔的末端由圆环形回流槽连通。