[发明专利]物体长度微小变化精细测量装置

摘要

本发明公开了一种物体长度微小变化精细测量装置。它是在第一底板1与第二底板19相互紧固形成的底座上，安装竖向定位螺杆3、顶针套筒8和顶针9等。待测物4放在竖向定位螺杆3和顶针9之间。反射镜11固定在转轴10上。激光器14、第一狭缝位置调节器20、第二狭缝位置调节器21都安装在第二底板19上，第一狭缝16、第二狭缝17分别安装在第一狭缝位置调节器20和第二狭缝位置调节器21上，光强检测器18安装在第二狭缝位置调节器21上。利用上述反射镜11和第一狭缝16的单缝衍射两级光放大效应，就可以得到比单纯基于螺旋测微计测量精度的公知的线胀系数测量仪的测量精度有显著提高。本发明可用于高精度的测量物体的微小位移。

主权项

一种物体长度微小变化精细测量装置，第一底板（1）与第二底板（19）相互紧固，其特征是竖向支架板（2）固定在第一底板（1）的外端头部，竖向支架板（2）带有竖向定位螺杆（3），套筒支架板（15）的下端固定在第一底板（1）上，套筒支架板（15）的上端安装有顶针套筒（8），顶针（9）穿过顶针套筒（8），顶针（9）的直径小于顶针套筒（8）的孔径，反射镜（11）固定在转轴（10）上，转轴（10）的下端插入第一底板（1）上的小孔，压簧（12）的两端分别与反射镜（11）和压簧架（13）固定，激光器（14）、第一狭缝位置调节器（20）、第二狭缝位置调节器（21）都安装在第二底板（19）上，第一狭缝（16）、第二狭缝（17）分别安装在第一狭缝位置调节器（20）和第二狭缝位置调节器（21）上，光强检测器（18）安装在第二狭缝位置调节器（21）上。