[发明专利]一种具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜的制备方法有效
| 申请号： | 201510346075.X | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104900242B | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 鲁军;肖嘉星;赵建华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G11B5/31 | 分类号： | G11B5/31 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜的制备方法，包括将衬底放入真空薄膜沉积系统；在衬底上生长缓冲层；将衬底保持在一定温度，在缓冲层上沉积一种能够形成液滴或颗粒状的元素X1，并形成多个液滴或颗粒；在液滴或颗粒上继续沉积能够与元素X1形成合金的元素X2，完成具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜的制备。利用本发明，制备出了具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜，并且该铁磁颗粒膜具有均匀可控的颗粒尺寸，同时具有非常优越的室温铁磁性能，使得其在垂直磁存储、磁光存储以及高灵敏度磁性传感器等技术领域有着很广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 垂直 各向异性 颗粒 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜的制备方法，其特征在于，包括：步骤1：将衬底(1)放入真空薄膜沉积系统(2)；步骤2：在衬底(1)上生长缓冲层(3)；步骤3：将衬底(1)保持在一定温度，在缓冲层(3)上沉积一种能够形成液滴或颗粒状的元素X1，并形成多个液滴或颗粒(4)；其中，所述元素X1选取自Ga、Al、In、Fe或Co元素中的一种；步骤4：在液滴或颗粒(4)上继续沉积能够与元素X1形成合金的元素X2，完成具有垂直磁各向异性的铁磁颗粒膜的制备；其中，所述元素X2选取自Mn、Pt、Pd、Al或Co元素中的一种或几种。
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