[发明专利]一种外置式栅控冷阴极阵列电子枪有效
| 申请号： | 201510273208.5 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN104934280B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 袁学松;鄢扬 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J23/06 | 分类号： | H01J23/06;H01J23/087 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙)51224 | 代理人： | 李崧岩 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外置式栅控冷阴极阵列电子枪，解决了现有技术精度差、器件耐压性差、稳定性欠佳、工艺复杂等问题。外置式栅控冷阴极阵列电子枪包括阴极底座，固定于阴极底座上的阴极衬底，设置于阴极衬底上端面且具有槽的冷阴极发射单元阵列，以及上端部为开口、下端部与阴极底座连接并密封的电子枪外壳；电子枪外壳内部为真空；电子枪外壳由下套筒和上套筒组成，在下套筒和上套筒之间设置有中部有通孔的栅极固定下底座，在栅极固定下底座上安装有外置式栅极，在外置式栅极上设置有栅极固定上底座；外置式栅极可相对于电子枪外壳上下移动以调节外置式栅极与阴极衬底之间的距离。本发明具有制作上工艺简单、精度高、一致性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外置 式栅控冷 阴极 阵列 电子枪 | ||
【主权项】：
一种外置式栅控冷阴极阵列电子枪，其特征在于，包括阴极底座(1)，固定于所述阴极底座(1)上的阴极衬底(2)，设置于所述阴极衬底(2)上端面且具有槽的冷阴极发射单元阵列(5)，以及上端部为开口、下端部与所述阴极底座(1)连接并密封的电子枪外壳，所述电子枪外壳内部为真空；所述电子枪外壳由下套筒(7‑1)和上套筒(7‑2)组成，在所述下套筒(7‑1)和上套筒(7‑2)之间设置有中部有通孔的栅极固定下底座(3)，在所述栅极固定下底座(3)上安装有外置式栅极(4)，在所述外置式栅极(4)上设置有栅极固定上底座(6)，所述上套筒(7‑2)的上端与注波互作用腔密封；所述外置式栅极(4)与所述阴极衬底(2)之间的距离可调。
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