[发明专利]基于波长调制SPR的折射率测量装置

摘要

基于波长调制SPR的折射率测量装置，涉及镀金属膜的介质折射率测量技术。它为了解决采用棱镜系统的折射率测量技术分辨率低的问题。本发明包括宽带光源、缩束透镜组和显微物镜，所述宽带光源发出的光经缩束透镜组缩束后入射至显微物镜，并经该显微物镜聚焦到待测样品的表面，经该表面反射的光束经过显微物镜出射，采用光谱仪和迈克尔逊干涉仪测量出射光在显微物镜的后焦面处的光信息，得到待测样品表面一个点的折射率，移动显微物镜，对待测样品表面进行扫描，可得到整个表面的折射率分布情况，进而还原待测样品的表面材质分布情况。本发明的折射率测量精度能够达到10^－7，适用于镀金属膜的介质的折射率测量。

主权项

基于波长调制SPR的折射率测量装置，其特征在于：它包括宽带光源(1)、缩束透镜组(2)和显微物镜(7)，所述宽带光源(1)发出的光经缩束透镜组(2)缩束后入射至显微物镜(7)，并经该显微物镜(7)聚焦到待测样品(9)的表面，经该表面反射的光束经过显微物镜(7)出射。