[发明专利]防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法

摘要

一种保护硅片单面图形不受到湿法腐蚀影响的保护罩及其使用方法。保护罩采用顶板和底板将需要图形保护的芯片夹在中间，项板和底板之间通过紧固螺钉来密封连接；顶板、底板和芯片之间分别放置橡胶圈，通过橡胶圈的压缩形变来实现密封；底板中心有一圆形通孔，腐蚀液通过此通孔腐蚀芯片背面；密封的上盖板中心有一圆形凹槽，凹槽内注水，以防腐蚀液渗入胶圈内侧直接腐蚀硅片。保护罩将芯片需要保护的一面浸泡在其他液体中，使其免受湿法腐蚀的破坏。整体结构容易拆装，结构简单，使用方便，通过更换密封圈，可以实现反复使用。

主权项

一种防酸、碱腐蚀的保护罩，由顶板、底板、转接柱、提手、提手螺钉、紧固螺钉、玻璃管、O型橡胶圈和芯片几个部分组成，顶板和底板通过紧固螺钉固定连接；顶板中心上表面有一个带台阶的通孔，台阶处有一个凹槽，上通孔内有内螺纹，具有中心通孔的转接柱位于顶板的上通孔内，玻璃管插入转接柱的中心通孔中，在玻璃管的外壁上刻有标度尺，用于观察液体表面上升和下降情况；顶板的下表面具有一个圆形凹坑和一个环形凹槽；底板中心有一个通孔，底板与顶板相邻的一面有一个环形凹槽和一个沉下去的圆形凹坑，环形凹槽位于圆形凹坑的边缘内侧，与圆形凹坑同心，其最大直径小于芯片的外径；顶板下表面的圆形坑和地板上的圆形凹坑组成了容纳芯片的空间，其中，芯片和顶板和底板之间用全氟的O型橡胶圈进行密封连接，转接柱与顶板之间形成防酸、防碱的密封连接。