[发明专利]通过氧化来构建可氧化材料层的方法以及具有所构建的覆层的基板有效
| 申请号： | 201480059317.0 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN105683423B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 马赛厄斯·坎普;约纳斯·巴尔奇;马库斯·格拉特撒 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | C25D11/02 | 分类号： | C25D11/02;C25D11/08;C25D11/26;C25D17/12;C25D17/14;C25D11/32;C25D11/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;曹正建 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于构建可氧化材料层的方法。在所述方法中，利用至少一个氧化步骤使设置于基板上的至少一个可氧化材料层经历局部氧化。在所述局部氧化的情况中，对所述可氧化材料层中的至少一个选择区域进行氧化，以使得所述可氧化材料层在所述氧化之后通过在整个层厚上延伸的至少一个氧化区而被细分成相互电绝缘的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 可氧化材料 构建 局部氧化 选择区域 氧化步骤 电绝缘 氧化区 层厚 覆层 基板 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于构建可氧化材料层的方法，在所述方法中，利用至少一个氧化步骤使设置于基板上的至少一个可氧化材料层经历局部氧化，在所述局部氧化的情况下，对所述可氧化材料层中的至少一个选择区域进行氧化以使得所述可氧化材料层在最后一个氧化步骤之后通过在整个层厚上延伸的至少一个氧化区而被细分成相互电绝缘的区域，其特征在于，所述可氧化材料层的所述氧化是利用氧化介质和用于计量所述氧化介质的计量装置而被实施的，在所述氧化过程中所述氧化介质既与所述计量装置接触又与所述可氧化材料层接触，并且所述计量装置与所述可氧化材料层之间被施加1V至100V的电压，凭借所述电压而引起流过所述氧化介质的电流。
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