[发明专利]用于控制包括嵌段共聚物的共混物的纳米结构化组合体的周期的方法有效

专利信息
申请号: 201480049611.3 申请日: 2014-09-05
公开(公告)号: CN105722927B 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: C.纳瓦罗;X.希瓦利埃;C.尼科利特;I.伊利奥普洛斯;R.蒂朗;G.弗勒里;G.哈齐约安努 申请(专利权)人: 阿科玛法国公司;国家科学研究中心;波尔多大学;波尔多理工学院
主分类号: C09D153/00 分类号: C09D153/00;C08L53/00;G03F7/16
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 宋莉
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于控制包括沉积在表面上或者在模具中的嵌段共聚物的共混物的纳米结构化组装体的周期的方法。嵌段共聚物的特征在于,该嵌段共聚物具有至少一种相同的嵌段共聚物每一嵌段各自的构成单体,但呈现不同的分子量。所述控制方法的目标在于获得几乎没有纳米结构缺陷的膜或物品的厚度,该厚度对于经处理的表面是足够大的,以使所述经处理的表面能够用作在微电子应用中使用的掩膜,或者对于由此获得的物品是足够大的以呈现先前未公布的机械、声学或光学特性。
搜索关键词: 用于 控制 包括 共聚物 共混物 纳米 结构 组合 周期 方法
【主权项】:
用于控制嵌段共聚物的共混物的纳米结构化的组装体的周期的方法,该共混物包括具有不同分子量的n种嵌段共聚物,但对于所述n种嵌段共聚物,嵌段共聚物的每一嵌段各自的至少一种构成单体是相同的,n为2‑5之间的整数,所述方法包括以下阶段:‑在溶液中的包括嵌段共聚物的共混,‑这种共混的溶液在表面上或在模具中的沉积,‑退火。
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