[发明专利]用于气相色谱的整合流体系统在审

专利信息
申请号: 201480040466.2 申请日: 2014-05-16
公开(公告)号: CN105579842A 公开(公告)日: 2016-05-11
发明(设计)人: Y.B.吉安钱达尼;Y.秦 申请(专利权)人: 密执安大学评议会
主分类号: G01N30/32 分类号: G01N30/32;B01L3/00;B81C1/00;G01N30/60;G01N30/88;G01N30/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 周李军;林森
地址: 美国密*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提出一种制造用于气相色谱仪的流体系统的方法。方法包括:用第一掩模在基材上微制造气相色谱仪的流体系统的一部分;用第二掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分;并且用第三掩模微制造气相色谱仪的流体系统的一部分,使得第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同,且微制造气相色谱仪的流体系统只用第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。一种气相色谱仪,其中微制造的Knudsen泵布置以第一方向操作,以将载气吸入预浓缩器,并以第二方向操作,以将气体吸出预浓缩器。
搜索关键词: 用于 色谱 整合 流体 系统
【主权项】:
一种微制造具有至少三个组件的气相色谱仪的流体系统的方法,所述方法包括:用第一掩模在基材上微制造气相色谱仪的流体系统的一部分;用第二掩模微制造气相色谱仪的流体系统的相同或不同部分;和用第三掩模微制造气相色谱仪的流体系统的相同或不同部分,其中所述第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同,且微制造气相色谱仪的流体系统只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。
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