[发明专利]用于光学计量的高度相关参数的相关性的动态移除有效
| 申请号： | 201480037324.0 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106471353B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李列泉;利奥尼德·波斯拉夫斯基;史帝蓝·伊凡渥夫·潘戴夫 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N21/25;G01N21/47;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述用于光学计量的高度相关参数的相关性的动态移除。方法的实施例包含：确定结构的模型，所述模型包含参数集合；执行所述结构的光学计量测量，包含收集硬件元件上的光谱数据；在所述结构的所述测量期间，动态地移除所述参数集合中的两个或两个以上参数的相关性，相关性的所述动态移除的反复包含：产生所述参数集合的雅可比矩阵，应用所述雅可比矩阵的奇异值分解，选择所述参数集合的子集及基于参数的所述子集来计算参数搜索的方向。如果所述模型不收敛，那么执行相关性的所述动态移除的一或多次额外反复，直到所述模型收敛；及如果所述模型收敛，那么报告所述测量的结果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 计量 高度 相关 参数 相关性 动态 | ||
【主权项】：
1.一种用于参数的相关性的动态移除的方法，其包括：确定结构的模型，所述模型包含参数集合；执行所述结构的光学计量测量，包含收集硬件元件上的光谱数据；在所述结构的所述测量期间，动态地移除所述参数集合中的两个或更多个参数的相关性，相关性的所述动态移除的反复包含：产生所述参数集合的雅可比矩阵，应用所述雅可比矩阵的奇异值分解，选择所述参数集合的子集，及基于参数的所述子集来计算参数搜索的方向；如果所述模型不收敛，那么执行相关性的所述动态移除的一或多次额外反复，直到所述模型收敛；及如果所述模型收敛，那么报告所述测量的结果。
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