[发明专利]用于微机械麦克风的多层复合式背板有效
| 申请号： | 201480030794.4 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN105247890B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | J·W·津恩;B·M·戴蒙德 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种MEMS装置。该装置包括膜和具有多个开口的加强式背板。所述加强式背板包括第一层和耦接至第一层的第二层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 麦克风 多层 复合 背板 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS装置，该装置包括：膜；加强式背板，其具有多个开口，所述加强式背板包括第一层和第二层，其中，所述第一层与所述第二层彼此没有物理接触；和定位在第一层和第二层之间的互连层，所述互连层将所述第一层耦接至所述第二层。
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