[实用新型]一种密封可靠的主端头有效
申请号: | 201420793375.3 | 申请日: | 2014-12-16 |
公开(公告)号: | CN204459135U | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 魏庆瑄;张俊峰;李桂良;张富 | 申请(专利权)人: | 上海子创镀膜技术有限公司 |
主分类号: | F16J15/02 | 分类号: | F16J15/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201507 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种密封可靠的主端头,包括壳体,所述壳体上端设有连接铜板,连接铜板为带电体,连接铜板上方固定设有水电输入组件;连接铜板上方设有铝基座,铝基座与连接铜板之间设有绝缘垫。壳体内部设有真空密封架,壳体与真空密封架之间为静密封,壳体内部左侧上端设有水密封架;壳体左端设有磁性轴法兰,磁性轴法兰右侧设有驱动轴,壳体右侧下端设有靶材端头,靶材端头下方设有开合螺母。壳体右侧上端设有磁流体,磁流体外侧设有磁流体密封座,磁流体上端安装有同步带轮,同步带轮外侧设有同步带。本实用新型结构合理,密封效果好,提高了设备的使用寿命,稳定性好,降低了维修频率和维修的工作量,提高了生产效率和生产质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 可靠 端头 | ||
【主权项】:
一种密封可靠的主端头,包括壳体(5),所述壳体(5)上端设有连接铜板(4),连接铜板(4)为带电体,连接铜板(4)上方固定设有水电输入组件(1);连接铜板(40上方设有铝基座(2),铝基座(2)与连接铜板(4)之间设有绝缘垫(3);壳体(5)内部设有真空密封架(6),壳体(5)与真空密封架(6)之间为静密封,壳体(5)内部左侧上端设有水密封架(7);壳体(5)左端设有磁性轴法兰(8),磁性轴法兰(8)右侧设有驱动轴(9),壳体(5)右侧下端设有靶材端头(10),靶材端头(10)下方设有开合螺母(11);其特征在于:壳体(5)右侧上端设有磁流体(13),磁流体(13)外侧设有磁流体密封座(12),磁流体(13)上端安装有同步带轮(14),同步带轮(14)外侧设有同步带(15)。
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