[实用新型]一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置，包括在底板上依次设置的陶瓷盘装载部、超声波循环槽、多个溢流水槽、喷干槽和陶瓷盘卸载部。整个清洗过程是在常温下进行，陶瓷盘表面的蜡无挥发，不会危害大气环境和影响员工身体健康。采用超声波及多道溢流槽清洗工艺，清洗更全面，不会造成蜡残留，影响再次抛光晶片的平整度。采用高温压缩空气吹干，不会造成水渍残留。全自动操作，相较于人力操作，大大节约清洗时间，提高生产效率。并且本装置设备占用空间远小于传统工艺，大大节约生产成本。

主权项

一种有蜡陶瓷盘的自动清洗装置，其特征在于，包括在底板上依次设置的陶瓷盘装载部、超声波循环槽、N个溢流水槽、喷干槽和陶瓷盘卸载部，所述超声波循环槽内设有药液，每一所述溢流水槽内均设有纯水，所述喷干槽内设有压缩空气，N为大于或者等于1的整数；其中所述超声波循环槽包括内槽和外槽，所述内槽和所述外槽之间通过循环药液管道连通，所述内槽的横截面积小于所述外槽的横截面积；所述内槽上方设有一对喷淋系统，所述喷淋系统与所述循环药液管道连通，所述内槽的内部设有药液，所述内槽下方设有超声波振动器室；所述外槽下方设有过滤器和排污系统。