[实用新型]一种晶元裸视检测装置有效
申请号: | 201420402896.1 | 申请日: | 2014-07-21 |
公开(公告)号: | CN203941114U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 杨军 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。本实用新型结构简单合理,通过暗室中的LED光源照射晶元,在晶元表面不平整的地方产生漫发射,可以提高裸视检出的能力;且因检测环境为黑色,光线不会在其表面发生反射,因而杜绝了反射光线对产品检测的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶元裸视 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,其特征在于,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。
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