[实用新型]防止真空泵污染的重量法物理吸附仪有效
| 申请号： | 201420156173.8 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203758867U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 柳剑峰 | 申请（专利权）人： | 贝士德仪器科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;付久春 |
| 地址： | 100193 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止真空泵污染的重量法物理吸附仪，该吸附仪包括：包括：测试装置、真空泵、阀门、管路和冷阱装置；其中，真空泵经所述冷阱装置、阀门、管路与测试装置连通。该吸附仪通过将冷阱装置设置安装在真空泵和测试装置之间，通过冷阱装置的冷却隔离作用，有效除去了抽真空过程中的水、有机蒸汽等进入真空泵，保护真空泵，保持了真空度和真空泵的使用寿命，提高测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 真空泵 污染 重量 物理 吸附 | ||
【主权项】：
一种防止真空泵污染的重量法物理吸附仪，其特征在于，包括：测试装置、真空泵、阀门、管路和冷阱装置；其中，所述真空泵经所述冷阱装置、阀门、管路与所述测试装置连通。
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