[实用新型]一种PECVD工件架及其电极板

摘要

本实用新型涉及一种PECVD工件架的电极板，包括用于形成电极板工作段的电极板本体、设置于电极板本体的前后两端且用于形成电极板裸露段的本体端件，本体端件与电极板本体通过可拆装的螺钉紧固连接。由于本体端件与电极板本体为螺钉连接，因而裸露段上的膜层需要清理时，仅需将本体端件拆下并将其浸泡在NaOH溶液中进行浸泡清洁即可，该种清洁方式可以更加彻底的清除镀设在本体端件上的膜层，该种电极板在清洁时不仅消除了手工打磨时工作量大和清洁不彻底的弊端，同时还使工件架中的电极板保养起来更加容易操作，在有效保证清洁效果的同时，有效提高了电极板裸露段的清洁效率。本实用新型还公开了一种具有上述电极板的PECVD工件架。

主权项

一种PECVD工件架的电极板，其特征在于，包括用于形成电极板工作段（1）的电极板本体（3），以及设置于所述电极板本体（3）的前后两端且用于形成电极板裸露段（2）的本体端件（4），且所述本体端件（4）与所述电极板本体（3）通过可拆装的螺钉（7）紧固连接。